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引言: 前面發過(guo)有(you)關(guan)真空壓力控制器應用的文章,收到不少小伙伴(ban)后臺留言咨詢,此篇文章我們將帶領大家了解更多它的相關(guan)參(can)數(shu)。
艾(ai)里卡特Conductor系列真(zhen)空(kong)(kong)(kong)壓(ya)力(li)控制器旨在快(kuai)速控制抽真(zhen)空(kong)(kong)(kong)過程(cheng)的(de)壓(ya)力(li),支(zhi)持(chi)內(nei)置真(zhen)空(kong)(kong)(kong)傳感器或外接真(zhen)空(kong)(kong)(kong)計,具有較寬的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)壓(ya)力(li)測量/控制范(fan)圍(0.01 Torr至(zhi)1000Torr)。
Conductor系(xi)(xi)(xi)列控制(zhi)器集成(cheng)了多(duo)種電容(rong)膜片(pian)真空(kong)計(ji)(CDG)用于(yu)測量系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)壓(ya)力。通過調節被(bei)抽出真空(kong)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)氣流(liu)量與(yu)進入系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)(de)氣流(liu)量達到平衡,從而調節系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)真空(kong)度。
上游控制的計算示例:
真空泵的抽速:每秒2升
維持腔體壓力:10 TorrA
所需流量:實際壓力÷標況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM
使用艾里卡(ka)特真空控(kong)制(zhi)器在單獨氣體供(gong)應裝置的上游(you)進行壓力控(kong)制(zhi)時(shi),您無需擴大流量,只需使用較小的控(kong)制(zhi)閥(fa),即可提高(gao)控(kong)制(zhi)性能并減少泄漏。
即使(shi)面對(dui)快速(su)變化的過(guo)程(cheng)工況(例(li)如(ru)流(liu)量或溫度(du)的波(bo)動),艾里卡特Conductor系列真空(kong)壓力(li)控制器也能迅速(su)控制并保持壓力(li)穩定在設定值。
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快速響應
快速響應(ying)的閥(fa)門和(he)特殊的PID控(kong)制(zhi)(zhi)算法構成了1毫(hao)秒(miao)的控(kong)制(zhi)(zhi)回路。
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控制J準
j度可溯(su)源至(zhi)NIST
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通訊連接
通過以(yi)下方式輕松與您的(de)工業網絡(luo)協(xie)議(yi)集成:
· Alicat*的多點RS-232串口通訊
· RS-485串口
· Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)
· Modbus TCP/IP
· DeviceNet
· EtherCAT
· EtherNet/IP
· Profibus
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背壓控制
后置閥選項可(ke)以讓您的(de)Conductor控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)過(guo)程(cheng)腔體(ti)和(he)真空(kong)泵之間(jian)的(de)流量。將控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)安(an)裝在過(guo)程(cheng)腔體(ti)和(he)真空(kong)泵之間(jian),用于限制(zhi)真空(kong)泵的(de)抽氣(qi)流量,從而控(kong)(kong)(kong)制(zhi)腔體(ti)的(de)壓力(li)上(shang)升或(huo)下降或(huo)維持穩(wen)定。如果你無法在系統上(shang)游(you)安(an)裝壓力(li)控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi),但又想j確控(kong)(kong)(kong)制(zhi)系統壓力(li),就可(ke)以使用后置閥門的(de)背(bei)壓控(kong)(kong)(kong)制(zhi)器(qi)。
概況
壓力量程
- 絕壓(ya)量程(以(yi)高(gao)真空為基(ji)準)
- 10、100和1000 TorrA單傳感器(qi)模塊
- 1000&10 TorrA雙傳感(gan)器模塊
性能
- 量(liang)程比 ≅ 1000:1
- 常(chang)規j度(du)校準(zhun),可(ke)溯源(yuan)NIST:+/- 0.5%滿量程(cheng)(零點漂移可(ke)通(tong)過真空(kong)去皮調整)
- 典型控制響(xiang)應(ying)時間:≥50ms(可調(diao))
- 傳(chuan)感器(qi)響應時間:2毫秒
- 顯示響應時間:<10毫秒
- 傳(chuan)感器預熱時間(jian):*的(de)預熱時間(jian)-2小(xiao)時
· 適用于大部分(fen)用途的-15分(fen)鐘(zhong)
運行條件
- 氣(qi)體兼(jian)容性:與多(duo)種氣(qi)體兼(jian)容,包括(kuo)大部分具有腐蝕性的氣(qi)體
· 關于(yu)腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣體可參閱Alicat氣體清單,查看接液(ye)材料的兼容性(xing)。此真空(kong)壓力(li)控制器不適用于(yu)液(ye)態水
- 接液(ye)材料:302、303、304和430FR不(bu)銹(xiu)鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧(yang)化鋁、可選316L不(bu)銹(xiu)鋼主體(ti)
- 工作(zuo)溫度:+10至+ 50°C
- 傳(chuan)感器損(sun)壞壓力:6 kTorrG(116 PSIG)
工藝連接件
- Compression
- SAE
- 偉洛克®(包括(kuo)管(guan),VCO®和VCR®)
電氣接頭
- 6針鎖緊(jin)型(xing)工業接頭
- 標(biao)準8針mini-DIN接頭
- 8針螺(luo)紋型(xing)M12接頭(tou)
- 9針(zhen)引腳
- 15針引腳
如果我們內置的CDG真空(kong)傳感器(qi)無法滿足你(ni)的量程(cheng)或(huo)性能的需(xu)求,或(huo)您想使用(yong)自(zi)己的真空(kong)傳感器(qi),請與(yu)Alicat 中國代表處聯系以獲得協助,以確保(bao)您的控制(zhi)器(qi)能夠快(kuai)速穩定的運行(xing)。
Conductor
用于(yu)真空控(kong)制的(de)快速響應絕壓控(kong)制器