上述優點使科(ke)里奧利流量控(kong)制(zhi)器(qi)也(ye)成為(wei)其他半導體(ti)制(zhi)造工(gong)藝的有(you)吸引力的選(xuan)擇。例如，原子層(ceng)沉積(ALD)同樣有(you)需要(yao)精(jing)que控(kong)制(zhi)液體(ti)前驅物的過(guo)程。
半(ban)導體(ti)制造的(de)(de)另一個(ge)關(guan)鍵過程是(shi)在將圓柱形晶錠(ding)采用機(ji)械刀片(pian)進行切(qie)割，切(qie)成一片(pian)一片(pian)的(de)(de)圓盤狀，便(bian)成了晶圓。切(qie)割后需對其進行清洗，一種新的(de)(de)晶圓清洗方法是(shi)使(shi)用超(chao)臨(lin)界CO2，它具有(you)(you)特殊的(de)(de)特性，可以有(you)(you)效清潔深溝槽和去除殘留物。超(chao)臨(lin)界CO2既(ji)不(bu)是(shi)液體(ti)也(ye)不(bu)是(shi)氣(qi)體(ti)，而(er)科里奧利流量計非常適(shi)合(he)這一工藝流程。
Alicat CODA系列科里奧利儀表抗(kang)干擾性強，對周邊的振動和干擾不(bu)敏感(gan)，這點更是為半導體先進過程控制的高要求提供了有力保障。
有(you)趣的(de)(de)事實: CVD作為(wei)一種非(fei)常(chang)有(you)效的(de)(de)材(cai)料表(biao)而(er)改性方(fang)法，在很多領域得到應用，它(ta)(ta)提高了(le)材(cai)料的(de)(de)使(shi)用壽(shou)命(ming)，節省了(le)大量的(de)(de)材(cai)料，為(wei)社會帶來了(le)顯著的(de)(de)經濟(ji)效益(yi)。CVD涂層(ceng)不僅用于半(ban)導體行業，例(li)如(ru)，它(ta)(ta)也(ye)被用于制(zhi)造薯片(pian)包(bao)裝袋(dai)，將(jiang)鋁(lv)沉積在聚(ju)丙烯層(ceng)上。巧合的(de)(de)是，Alicat科里奧利流量儀表(biao)對薯片(pian)的(de)(de)生產(chan)并不陌(mo)生，因為(wei)它(ta)(ta)也(ye)被用于調味工藝生產(chan)過程中(zhong)。
Alicat艾里卡(ka)特CODA科里奧利系列有多種型號(hao)可(ke)供選(xuan)擇，并(bing)且可(ke)提供定制(zhi)服務，請(qing)即刻與我(wo)們(men)聯(lian)系推薦(jian)適合您的CVD、ALD、超臨界CO2或其他工藝的流量計量和控制(zhi)解決(jue)方(fang)案！
